设备分类编码: 010102

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [信息科学与系统科学, 材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-54263338-527

电子邮箱:

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 丁家奇

仪器所属类别: 分析仪器>>电子光学仪器>>扫描电镜

规格型号: S-4800

所属科研设施:

主要功能: 进行纳米结构的精细观测和测量。用于具有微纳敏感结构的传感器特别是纳米敏感结构传感器

主要技术指标: 分辨率高，可以达到1.8nm，观测样品室尺寸大，最大可以放入4英寸硅片，方便在线监控器件芯片制备工艺，加速电压：不高于30Kv，发射电流：0-20uA；

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: