设备分类编码: 990000
仪器设备分类:
主要学科领域: []
仪器设备来源: 其它
联系电话: 010-82305019
电子邮箱: jian@semi.ac.cn
通讯地址: 北京市海淀区清华东路甲35号
邮政编码: 100083
联系人: 季安
仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他
规格型号: DISCOVERY635
所属科研设施:
主要功能: 磁控溅射主要用来在样品表面沉积金属或介质的薄膜。磁控溅射制备的膜具有致密性好、附着性好等特点。此外使用共焦溅射功能还可以控制制备材料的组份。
主要技术指标: 无
安放地址: 北京市北京市海淀区无
服务内容: 薄膜沉积
服务的典型成果: 无
对外开放共享规定: 遵照中国科学院对外开发统一管理规定
参考收费标准: 分析项目:薄膜沉积,分析标准:磁控溅射台操作规程,前处理标准:用户指定,前处理收费(院外):0,分析收费(院外):2000;