设备分类编码: 011299

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [工程与技术科学基础学科, 材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0512-69588061

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联系人: 周连群

仪器所属类别: 分析仪器>>样品前处理及制备仪器>>其他

规格型号: 12槽

所属科研设施:

主要功能: 针对水晶片腐蚀频率而开发的专用设备，可以对腐蚀清洗的多种流程进行预先的设定，如：浸渍→腐蚀→清洗； 清洗→腐蚀→清洗等。腐蚀和清洗时，摇动方式采用水平方式的摇动和不间断的液体循环，从而可以保证每一枚晶片在腐蚀和清洗时的一致性，提高效率。

主要技术指标: 12槽

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: