设备分类编码: 990000

仪器设备分类:

主要学科领域: []

仪器设备来源: 其它

联系电话: 82547177

电子邮箱: lihan@mail.iee.ac.cn

通讯地址: 北京市海淀区中关村北二条六号

邮政编码: 100190

联系人: 韩立

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: FEI DB820

所属科研设施:

主要功能: 高精度电子束测量和离子束刻蚀

主要技术指标: 无

安放地址: 北京市北京市海淀区无

服务内容: 扫描电子显微镜观察/聚焦离子束加工,刻蚀,电学测试,样品表面形态及结构分析

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 遵照中国科学院对外开发统一管理规定

参考收费标准: 分析项目:扫描电子显微镜观察/聚焦离子束加工,分析标准:用户指定,前处理标准:用户指定,前处理收费（院外）:0,分析收费（院外）:0;分析项目:刻蚀,分析标准:用户指定,前处理标准:用户指定,前处理收费（院外）:0,分析收费（院外）:0;分析项目:电学测试,分析标准:用户指定,前处理标准:用户指定,前处理收费（院外）:0,分析收费（院外）:0;分析项目:样品表面形态及结构分析,分析标准:用户指定,前处理标准:用户指定,前处理收费（院外）:0,分析收费（院外）:0;