设备分类编码: 029900
仪器设备分类: 通用
主要学科领域: [材料科学, 土木建筑工程, 水利工程, 交通运输工程, 安全科学技术]
仪器设备来源: 购置
联系电话: 0531-82605313
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联系人: 李永德
仪器所属类别: 物理性能测试仪器>>其他>>其他
规格型号: Supra55
所属科研设施:
主要功能: 可满足半导体、材料分析、药品制造和生命科学等领域中苛刻的应用要求。对于不导电样品,采用专利可变压力(VP)技术的增强型可变压力二次电子探测器(VPSE)可以得到一流的图像和分析结果。GEMINI?镜筒具有无与伦比的成像能力,尤其是在工作电压低于1kV时成像能力尤为出色,这就使得SUPRA?成为适合所有纳米科学应用的成像工具。
主要技术指标: 分辨率 SUPRA? 40/40VP 1.3 nm @ 15 kV 2.1 nm @ 1 kV 5.0 nm @ 0.1 kV 2.0 nm @ 30 kV(VP模式) 分辨率 SUPRA? 55/55 VP 及 60/60 VP 1.0 nm @ 15 kV 1.7 nm @ 1 kV 4.0 nm @ 0.1 kV 2.0 nm @ 30 kV(VP模式) 加速电压 0.1 - 30 kV 束流 4 pA - 10 nA(可选配20 nA) 放大倍数 12 - 900,000x 电子枪 热场发射型 VP真空度 2 - 133 Pa 标准探测器 In-lens二次电子探测器与样品室内ET探测器 VP型号采用VPSE探测器 图象处理 7种积分和平均模式 系统控制 基于Windows?XP的SmartSEM?
安放地址:
服务内容:
服务的典型成果:
对外开放共享规定:
参考收费标准: