设备分类编码: 010103

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0512-62872594

电子邮箱: fftian2009@sinano.ac.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 田飞飞

仪器所属类别: 分析仪器>>电子光学仪器>>电子探针

规格型号: SUSS PM8

所属科研设施:

主要功能: 与Keithley 4200结合，测量器件I-V、C-V、脉冲I-V等。

主要技术指标: 具有无霜，光屏蔽，电磁干扰屏蔽；可探测最大达200mm的晶圆或衬底 ，XY移动平台移动范围：200x200mm，快速移动和XY-10x10mm范围内由落选千分尺精调。 手动载物台升降闸: 10mm, THETA-精调范围: ±9°。定位器平台具有真空/磁性吸附均可和手动控制闸控制定位器平台高度，接触或分离的调节，移动范围: 30mm, separation 分离闸: 0.4mm。显微镜系统水平方向移动范围: 50x50mm，Z方向移动范围: 近100mm。2个目镜: 10x；三个物镜: 2x, 10x,

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: