设备分类编码: 010802

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [信息科学与系统科学, 物理学, 材料科学, 电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-62511070-3305

电子邮箱:

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 彭炜

仪器所属类别: 分析仪器>>显微镜及图象分析仪器>>激光共焦显微镜

规格型号: VK-X200K

所属科研设施:

主要功能: 对样品的二维、三维形貌进行高分辨、大景深的观察和分析，具备形状、距离、断面R、断面积、角度、表面粗糙度、膜厚（包括透明薄膜厚度）测量功能，具备图像拼接功能。

主要技术指标: 采用针孔共焦光学系统，激光波长408nm，16位光电倍增管；面扫描和线扫描两种模式，面扫描速度4-120Hz，线扫描速度7900Hz；5个物镜（X5，X10，X20，X50，X150），综合放大倍率最大24000倍，具备镜头自校准机构；Z向测量范围7mm，显示分辨率0.0005um，重复精度0.012um；XY方向显示分辨率0.001 um，重复精度0.02um；3CCD模式可以实现2160万像素 （单CCD 700万像素）；检测倾角≥75°；电动载物台，支持4英寸及以下样品。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: