设备分类编码: 080199

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [机械工程]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0531-88392746

电子邮箱: zhoujun@sdu.edu.cn

通讯地址: 山东大学

邮政编码: 250100

联系人: 周军

仪器所属类别: 天文仪器>>天体测量仪器>>其他

规格型号: Veeco NT9300

所属科研设施:

主要功能: 粗糙度参数（两维及三维） 波纹度参数（两维及三维） 未滤波参数（两维及三维） 滤波参数（两维及三维） 多区域分析 形状去除

主要技术指标: 垂直测量范围：0.1nm-10nm 垂直分辨率：＜1A Ra 最大垂直扫描：速度25μm/sec 横向分辨率：0.08-13.1μm 可视区域：8.24mm-0.05mm 反射率范围：0.3%-100%

安放地址: 山东大学

服务内容: 1.       高速表面形貌测量可针对大尺寸样品、缝合的及不规则的样品实现大范围扫描（垂直方向最高可达10mm）。非接触测量； 重复性高； 测量精度高

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 周一至周五, 上午:8：00—12:00,下午:2:00—5:00

参考收费标准: 每小时需要金额: 70每次使用的开机费用: 0