设备分类编码: 010499

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-69918251

电子邮箱: wlzhang@siom.ac.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 张伟丽

仪器所属类别: 分析仪器>>光谱仪器>>其他

规格型号: 65000-00001 VUV

所属科研设施:

主要功能: 对薄膜元件的115nm-300nm波段进行光谱测试，包括反射率，透过率

主要技术指标: "波长范围：115 nm to 230 nm (single lamp)，115 nm to 230 nm and 160 nm to 300 nm (double lamp) 光谱分辨率：< 1 nm (FWHM of spectral lines at 160nm) "

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: