设备分类编码: 010803

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学, 材料科学, 化学工程, 教育学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0512-69157059

电子邮箱: yyq@suda.edu.cn

通讯地址: 苏州市吴中区干将东路333号

邮政编码: 215002

联系人: 虞一青

仪器所属类别: 分析仪器>>显微镜及图象分析仪器>>扫描探针显微镜

规格型号: SOLVER P47-PRO

所属科研设施:

主要功能: 可以在大气环境下测试导体、半导体、绝缘体薄膜样品表面二维、三维形貌，均方根粗糙程度，具有样品制备要求简单，非损伤性测量，可以达到原子级别的图像。

主要技术指标: . 横向(X、Y)分辨率：0.1-0.3 nm 2. 纵向(Z)分辨率：0.01 nm 3. 样品受力大小：1e-9 nN 4. 放大倍数：1e9 5. 扫描范围：50x50X3 um 6. 最小扫描步长：0.006 n 7. 扫描类型：移动样品、或探针移动 8. 样品最大范围：40x40X10 mm

安放地址: 干将东路333号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 无