设备分类编码: 010103

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-20350817

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邮政编码:

联系人: 阎严

仪器所属类别: 分析仪器>>电子光学仪器>>电子探针

规格型号: UF3000LX

所属科研设施:

主要功能: 适用于8/12英寸、厚度范围300～1000um的晶圆级测试，具有30～150摄氏度控温测试能力，支持GP-IB等通讯接口，具备支持CIS中测测试机的能力。

主要技术指标: 晶圆尺寸：Φ200mm，Φ300mm；晶圆厚度300um~1000um；厚度偏差±50um；探针定位时间160ms；定位精度1.8um；功耗3kVA；XY探针区域±170mm；XY探针精度±0.5um；Z轴精度±2um

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: