设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [电子与通信技术, 化学工程]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-62208250

电子邮箱: lk@bnu.edu.cn

通讯地址: 北京市海淀区学院南路12号核科院南楼

邮政编码: 100000

联系人: 梁琨

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: MJD4

所属科研设施:

主要功能: 图形转移

主要技术指标: 分辨率好于0.8μM，正面套准精度±0.5μM，背面套准分离度2-55μM

安放地址: 学院南路12号

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: 面议