设备分类编码: 010803

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [信息科学与系统科学, 物理学]

仪器设备来源: 购置

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仪器所属类别: 分析仪器>>显微镜及图象分析仪器>>扫描探针显微镜

规格型号: multiMode 8

所属科研设施:

主要功能: 扫描探针显微镜是目前纳机械加工测试与纳米材料表征中不可缺少的关键设备，是实现纳米生化敏感层表征最直观有效的设备。传感技术国家重点实验室所承担的基于微纳融合制造技术的生化传感器研制任务，所涉及的生化敏感层是传感器高灵敏度的关键，研究过程中需要对生化敏感层的形貌进行实时精确观察，以便于及时进行工艺调控，满足微纳传感器设计和制造的要求。扫描探针显微镜可以大大提升在微纳制造中的工艺监控能力，加快和保障实验室目前承担的国家微纳生化传感器方面项目的进展。

主要技术指标: 1 噪音：RMS < 0.3 ？ (垂直方向).，横向分辨率：0.2nm (XY方向) 可得到稳定的云母及石墨原子像 2 智能扫描模式( ScanAsyst) 智能调整参数，根据样品表面的特性，扫描过程中自动调整参数，并得到高分辨的图象，可大气及液体环境下直接成像，无需扫描共振峰，无需调整反馈参数。 3 扫描器三个,要求两个扫描管都可以兼容AFM及STM测试 扫描器XY：10 μm×10 μm，Z：2.5 μm 扫描器XY：125 μm×125 μm，Z：5 μm 扫描器XY：0.4μm×0.4μm，Z：0.4 μm 4 可8通道同时采集数据,最大数量采样16000以上（单线） 5 三个锁向放大器，定量相位成像：－180？到＋180？全线性相位成像。 6 TR模式具备两种测试功能：Tapping－TR反馈轻敲模式（Z方向振幅）信号，同时监测Torsional amplitude。TR Mode 反馈直接是信号Torsional amplitude。 TR模式可以通过检测横向的振幅信号，更好的追踪表面形貌，实现对粘性很强的样品测试及各向异性材料的不同方向特性检测 7 定量表面机械性能测试(Peak Force QNM):不仅可以对样品表面形貌高分辨率成像同时可以对纳米机械性能（包括弹性模量和粘附力）进行成像。模量1 MPa~50 GPa，粘附力10 pN~10μ. 8 温度控制功能：控温范围：-35℃~250℃。控温精度：具备温度反馈及实时控制系统精度0.1℃。升温方式：样品台与探针同时加热，保证探针温度与样品温度一致,同时提供水冷却系统保护扫描器。气氛控制室：可用来控制气氛，提供惰性气体、氮气等保护。可水冷却循环扫描器（XY方向，125微米扫描范围）。 9 控制器：控制器应在每根轴上都有三个独立的DAC位的数模转换器，用来控制扫描尺寸、扫描形状和偏移量。 10 提供直接的BNC接口，不需要外加装置即可开放信号及定做试验。 11 具有在样品表面重新调整共振频率的功能。这样可以很准确的知道探针在轻敲成像时的频率。在轻敲模式的探针逼近样品的过程中，具有自动决定set point值的功能。

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