设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [化学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-62565656

电子邮箱:

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 胡劲松

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: PVD75

所属科研设施:

主要功能: 薄膜研发

主要技术指标: 1.3个磁控溅射靶枪，或1个电子束蒸发源，或3个热蒸发源，或6个OLED蒸发源。 2.最大4英寸样品，可旋转，加热/冷却，偏压/射频清洗，气动样品挡板。 3.全封闭框架结构。前开门腔体，方便内部操作，计算机控制。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: