设备分类编码: 120204

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-62333649

电子邮箱: sgk@ustb.edu.cn

通讯地址: 北京市海淀区学院路168号

邮政编码: 100083

联系人: 曹江利

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>化工、制药工艺实验设备>>化学反应工艺实验设备

规格型号: JCP-350/ALD-150/CVD-80

所属科研设施:

主要功能: 物理气相沉积/原子层沉积制备薄膜/化学气相沉积制备

主要技术指标: 真空度达到2×10-4Pa/300℃沉积/700℃沉积

安放地址: 学院路

服务内容: 物理气相沉积/原子层沉积制备薄膜/化学气相沉积制备

服务的典型成果: 服务于采矿、冶金、材料等科学领域研究项目的实验分析与测试

对外开放共享规定: 工作日开放，提前预约

参考收费标准: 按样品数量、使用机时计费，具体收费根据实际实验内容而定