设备分类编码: 010103

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-20350817

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通讯地址:

邮政编码:

联系人: 阎严

仪器所属类别: 分析仪器>>电子光学仪器>>电子探针

规格型号: WL-350

所属科研设施:

主要功能: 用于图像传感器芯片的晶圆级测试。具有12英寸/8英寸Wafer级的IV和CV，以及RF参数的快速和高精度的测量能力；具有fA级低漏电测量能力；具有-45°-200°温控测试能力等

主要技术指标: 移动载台X/Y方向：移动行程最大12"/300mm,分辨率≤0.1um；移动载台Z方向分别率≤0.06um；移动载台Theta方向选择角度精度≤0.075um；三轴温控系统与卡盘：漏电流fA级；温度范围-45°-200°；温控分辨率≤0.1°

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: