设备分类编码: 019900

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-52412409

电子邮箱: jzmfh@mail.sic.ac.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 孟凡浩

仪器所属类别: 分析仪器>>其他>>其他

规格型号: 非标

所属科研设施:

主要功能: 适用功能主要有：金属/气体全方位离子注入；复合注入；磁控溅射；电子束蒸发；多弧镀膜

主要技术指标: 50KV高压；200A直流叠加2KV负偏压；10KV电子束蒸发；3KW的RF；

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: