设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-62333287

电子邮箱: yousonggu@mater.ustb.edu.cn

通讯地址: 北京市海淀区学院路34号

邮政编码: 100083

联系人: 顾有松

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: US GUNⅡ

所属科研设施:

主要功能: 制备各种多层膜和薄膜

主要技术指标: 三枪四源溅射仪

安放地址: 学院路

服务内容: 制备各种多层膜和薄膜

服务的典型成果: 服务于采矿、冶金、材料等科学领域研究项目的实验分析与测试

对外开放共享规定: 工作日开放，提前预约

参考收费标准: 按样品数量、使用机时计费，具体收费根据实际实验内容而定