设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, 材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-62334698

电子邮箱: sgk@ustb.edu.cn

通讯地址: 北京市海淀区学院路97号

邮政编码: 100083

联系人: 徐晓光

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: 非标

所属科研设施:

主要功能: 薄膜制备

主要技术指标: 制备室极限真空优于5.0x10-8Pa；多靶沉积4个2”；衬底加热温度 1000度；进样室极限真空1.0x10-5Pa；沉积均匀性<5%

安放地址: 学院路

服务内容: 薄膜制备

服务的典型成果: 服务于采矿、冶金、材料等科学领域研究项目的实验分析与测试

对外开放共享规定: 工作日开放，提前预约

参考收费标准: 按样品数量、使用机时计费，具体收费根据实际实验内容而定