设备分类编码: 120399

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [核科学技术]

仪器设备来源: 研制

联系电话: 010-62207969

电子邮箱: liaobingz@126.com

通讯地址: 北京市海淀区学院南路12号核科院南楼

邮政编码: 100000

联系人: 廖斌

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>其他

规格型号: M100

所属科研设施:

主要功能: 强流金属离子注入

主要技术指标: 直径2000mm真空室，可安装两个100型MEVVA离子源，加速电压0-50KV离子种类，各种可导电的固态元素的离子，平均离子流强度100mA

安放地址: 学院南路12 号

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: 面议