设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-64524815

电子邮箱: liujinyuan@nim.ac.cn

通讯地址: 北京朝阳区北三环东路18号中国计量科学研究院

邮政编码: 100029

联系人: 刘金元

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: SYV104

所属科研设施:

主要功能: 为真空紫外辐射计量标准研究提供高真空实验条件。

主要技术指标: 2. 工作条件： 2.1电力供应：单相220V，±10%，三相380V，±10%。 2.2工作温度：20°C±5°C。 2.3 相对湿度：20-70%。 2.4 仪器运行的持久性：仪器可连续正常运行。 2.5 工作条件及安全性要求符合中国及国际有关标准或规定。 3. 技术规格 3.1真空涡轮分子泵技术指标 3.1.1极限压强（Pa）： 优于6x10-6 3.1.2冷却方式：水冷、风冷 3.1.3 抽速（L/s）：大于400 3.1.4 安装方式：任意角度 3.1.5 前级机械泵：无油 3.2 检漏仪指标： 3.2.1 检漏仪类型：氦质谱检漏仪 3.2.2最小可检漏率（pa m3/s）：小于5x10-12 3.2.3 启动时间：≤3分钟 3.2.4自动校准功能 3.2.5 检漏最大容积：2m3 3.3 真空闸板阀指标： 3.3.1适用真空范围（Pa）：105～10-7 3.3.2 控制方式：自动 3.3.3漏率（Pa.m3/s）：＜1.3×10-10

安放地址: 北三环东路18号计量院13#121

服务内容: 可实现真空紫外波段光谱辐射亮度的测量

服务的典型成果: 为航天五院进行了氘灯的测量

对外开放共享规定: 参照《中国计量科学研究院大型仪器设备共享管理实施细则》

参考收费标准: 参照《中国计量科学研究院大型仪器设备共享管理实施细则》