设备分类编码: 120399

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [核科学技术]

仪器设备来源: 研制

联系电话: 010-62208249

电子邮箱: Liqiang540603@163.com

通讯地址: 北京市海淀区学院南路12号

邮政编码: 100000

联系人: 吴先映

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>其他

规格型号: CHZ-2600

所属科研设施:

主要功能: 金属离子注入，磁过滤等离子体沉积镀膜

主要技术指标: 直径600mm球形真空室，两个180度偏转磁过滤弧源，一个低能MEVVA离子源（加速电压0-50KV离子种类，各种可导电的固态元素的离子，平均离子流强度10mA）

安放地址: 学院南路12号

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: 面议