设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, 材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-64526134

电子邮箱: zhongq@nim.ac.cn

通讯地址: 北京市朝阳区北三环东路18号中国计量科学研究院2号楼314室

邮政编码: 100029

联系人: 钟青

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: k-space MOS system

所属科研设施:

主要功能: 测量薄膜应力和曲率。

主要技术指标: 应力测量范围：10E-2MPa~几十GPa；测量精度：优于0.1MP或者0.25%；数据采集，系统控制，自动激光光点检测；实时曲率、曲率半径、应力强度、应力、翘曲数据采集和图像显示。

安放地址: 石牌坊北路18号,19号楼1008室

服务内容: 测试薄膜应力

服务的典型成果: 长期为大规模约瑟夫森结阵器件的研制提供应力测试

对外开放共享规定: 参照《中国计量科学研究院大型仪器设备共享管理实施细则》

参考收费标准: 参照《中国计量科学研究院大型仪器设备共享管理实施细则》