设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [材料科学, 电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-64526134

电子邮箱: zhongq@nim.ac.cn

通讯地址: 北京市朝阳区北三环东路18号中国计量科学研究院2号楼314室

邮政编码: 100029

联系人: 钟青

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: KJLC CMS-18

所属科研设施:

主要功能: 沉积超导Nb薄膜和NbSix薄膜。

主要技术指标: 工艺腔室本底真可以达到 2 x 10-8 Torr；带有预真空室；DC/RF两个偏置电流源；3个靶位。

安放地址: 石牌坊北路18号,19号楼1012室

服务内容: 用于溅射Nb膜

服务的典型成果: 长期为量子计量用微纳基标准器件的研制提供表征服务

对外开放共享规定: 参照《中国计量科学研究院大型仪器设备共享管理实施细则》

参考收费标准: 参照《中国计量科学研究院大型仪器设备共享管理实施细则》