设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学, 材料科学, 电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-64526134

电子邮箱: Zhongq@nim.ac.cn

通讯地址: 北京市朝阳区北三环东路18号中国计量科学研究院2号楼314室

邮政编码: 100029

联系人: 钟青

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: MINILOCK-PHANTOM III

所属科研设施:

主要功能: 用氟基的气体刻蚀Nb薄膜和Si系列的材料。

主要技术指标: 有送样室；刻蚀腔室能刻蚀150mm（6英寸）以下的晶圆；本底真空达到1×10-5τ；电容真空计具有100mτ量程，控制精度好于±0.25%；计算机自动程序控制。

安放地址: 石牌坊北路18号,19号楼1010室

服务内容: 用于刻蚀氮化硅、二氧化硅和Nb膜

服务的典型成果: 长期为量子计量用微纳基标准器件的研制提供表征服务

对外开放共享规定: 参照《中国计量科学研究院大型仪器设备共享管理实施细则》

参考收费标准: 参照《中国计量科学研究院大型仪器设备共享管理实施细则》