设备分类编码: 120304

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [核科学技术]

仪器设备来源: 研制

联系电话: 010-62207969

电子邮箱: xiaji@bnu.edu.cn

通讯地址: 北京市海淀区学院南路12号核科院北楼

邮政编码: 100000

联系人: 夏稷

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电子产品通用工艺实验设备

规格型号: 400KEV

所属科研设施:

主要功能: 离子注入

主要技术指标: 能量30-400KEV，束流强度H+,N+,O+:100μA。B+,P+：20μA ，AS+:50μA

安放地址: 学院南路12号

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: 面议