设备分类编码: 129900

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-51167576

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联系人: 汪洪

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>其他>>其他

规格型号: 无

所属科研设施:

主要功能: 利用随时间移动的模板与镀膜技术形成元素成分连续渐变分布，得到线性比例的前驱体，然后通过再处理得到用于绘制连续相图所需的材料。设备可实现微小区域上连续掩膜；配备48靶位自动旋转原位换靶模块，满足制备金属多层膜结构所需的所有元素；具备衬底加热模块，用于原位扩散和材料退火，使得薄膜在加热衬底上原位生长，大幅度改善材料的结晶性能。

主要技术指标: 主腔室(Main Chamber)：包括高真空镀膜腔、加热后处理腔，和靶材、样品存储腔。 - 主泵：Cryogenic冷冻真空泵 - 本底真空度: 10^-9 torr（环境湿度≤55%） - 镀膜气压: 5.0×10^-4 torr Ar - Ion Tech 3cm Kaufman型离子源 - Ion Tech MPS 3000离子源电源(110W) - 离子束最大电流: 40 mA - 配备8靶位自动旋转原位换靶模块的多靶镀膜系统，靶直径: 3 inch

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

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