设备分类编码: 120399

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学, 材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-82648198

电子邮箱: jjli@aphy.iphy.ac.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 李俊杰

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>其他

规格型号: 80PiUS

所属科研设施:

主要功能: 刻蚀氧化硅等材料

主要技术指标: 每分钟刻蚀速率可控

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: