设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-67391641-830

电子邮箱: gwh@bjut.edu.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 郭霞

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: MJB3

所属科研设施:

主要功能: 光刻

主要技术指标: 用于半导体器件的光刻工艺。精度为1微米。是各种高性能半导体光电子和微电子器件制备所必须的工艺设备

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: