设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-67391641-830

电子邮箱: gwh@bjut.edu.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 郭霞

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: 80PLUS

所属科研设施:

主要功能: 半导体制作

主要技术指标: 生长半导体器件用的SiO2和SiN薄膜

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: