设备分类编码: 120399

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-60261107

电子邮箱:

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 李路海

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>其他

规格型号: 非标加工

所属科研设施:

主要功能: 等离子体真空镀膜

主要技术指标: 真空室/抽气机组/真空测量系统/操控系统/配气系统等

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: