设备分类编码: 010801

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-61609878-215

电子邮箱: sunyong@icc.sh.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 孙勇

仪器所属类别: 分析仪器>>显微镜及图象分析仪器>>光学显微镜

规格型号: INM200HC

所属科研设施:

主要功能: 德国徕卡公司生产的高精度光学显微镜，用于IC晶圆的高倍查看及摄片。

主要技术指标: 最高放大1500倍，配备共聚焦模块、自动聚焦、自动步进系统及高分辨率数码相机。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: