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原子层沉积  (收藏)

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设备分类编码: 990000

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学, 机械工程, 电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 025-83792432

电子邮箱:

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 王玉娟

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: R100

所属科研设施:

主要功能: 纳米薄膜制造

主要技术指标: 50 – 100 mm/单片

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准:



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