设备分类编码: 010401

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [动力与电气工程]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-68912946

电子邮箱: liuke@bit.edu.cn

通讯地址: 北京理工大学

邮政编码: 100081

联系人: 刘克

仪器所属类别: 分析仪器>>光谱仪器>>紫外可见分光光度计

规格型号: 自制设备

所属科研设施:

主要功能: 此设备主要用于半导体工艺光刻技术中的高分辨光学成像技术

主要技术指标: 照明系统：照明视场3.5mm×3.5mm，照明均匀性(RMS)优于3%；成像物镜：波像差RMS值优于19nm，PV值优于95nm；准直物镜：波像差RMS值优于33nm，PV值优于165nm。

安放地址: 中关村南大街5号

服务内容: 系统的教学和科研

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 周一至周五工作时间

参考收费标准: 校内：800 元/小时