设备分类编码: 990000

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0512-65884616

电子邮箱: xdhe@suda.edu.cn

通讯地址: 苏州市吴中区干将东路333号

邮政编码: 215002

联系人: 何小蝶

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: Black Magic 4

所属科研设施:

主要功能: 基于等离子体增强化学气相沉积方法的4英寸碳纳米结构 (包括碳纳米管、石墨烯)和 硅、锗纳米线生长系统是一套既可以生长碳纳米管、石墨烯,又可以生长硅纳米线和锗纳米线以及薄膜的高效可控生长设备,是 目前研究碳、硅及锗纳米材料必不可少的 生长合成装置。

主要技术指标: 1、增强等离子化学沉积和热化学沉积四英寸处理腔，最高价热温度900度 ,升温速度300度/秒 ,5组加热器，由于气流条件晶圆表面温度可达825度，真空处理腔具有水冷却系统,氦测漏达到1Eˉ9mbar-L/sec，通过高流量氮气冷却,在30分钟内从800度 降到常温。 2、工艺气体流量控制器，管路真空度达到lE-9ˉL/sec 3、手套箱 4、自动控制阀 5、 压力传感器 6、自动压力控制蝶阀 7、热控制传感器 8、 等离子发生器，最大电压,电流,功率为800V、2.5A, lKW，样式为直流+可变频率 (1~100kHz) 9、控制系统 10、控制服务器-Intcl Quad-core CPU,2Gb RAM,2* 5o0Gb SATA LAN,DVI, DVD-RW、 monitor with1920*1080resoluton 11、 锁定装置 12、 工艺警报装置 13、 艺管理系统 14、 抽真空系统 -Adixen ACP28G干 泵包含过滤器

安放地址: 干将东路333号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 无