设备分类编码: 990000
仪器设备分类: 通用
主要学科领域: [物理学, 化学]
仪器设备来源: 购置
联系电话: 0511-84401188
电子邮箱: 381525142@qq.com
通讯地址: 江苏省镇江市四摆渡江苏科技大学西校区
邮政编码: 212003
联系人: 王泽鑫
仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他
规格型号: LEXTOLS4000
所属科研设施:
主要功能: 三维形貌测量仪用于测定样品中被测区域的表面粗糙情况与轮廓形貌。具有卓越的粗糙度分析能力、微细粗糙度测试、轻松检测尖锐角、混合减震机构、真实的再现微小凹凸, 微电子封装内部结构、工件表面尺寸形貌分析。
主要技术指标: 总倍率 108x~17280x,可进行明视场/微分干涉/激光/激光微分干涉的观察,分辨率0.01μm,最大样品高度100mm
安放地址: 梦溪路2号
服务内容: 无
服务的典型成果: 无
对外开放共享规定: 共享
参考收费标准: 实行预约制度