设备分类编码: 010104

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [化学, 材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-64322272

电子邮箱: lmm@shnu.edu.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 刘谋明

仪器所属类别: 分析仪器>>电子光学仪器>>电子能谱仪

规格型号: PH1501C

所属科研设施:

主要功能: 分析样品近表面（5nm）和本体的元素组成，化学态。对多种价态元素，可以自动分峰拟合，并给出不同价态之间的原子比。可进行最小10μm范围的微区分析。

主要技术指标: 1.能够以10μm的空间分辨率对半导体、金属和树脂等各种材料进行定点表面分析。 2.通过Ar离子枪，可以实现表面深度超过10 nm的元素组成和化学结合状态进行分析。 3.可以分析元素组成随扫描深度的变化关系。 4.最低能量扫描进度可以达到0.025 eV，元素含量分析最低值为千分之五。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: