设备分类编码: 990000

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [化学, 物理学, 药学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0512-65883097

电子邮箱: liyongfang@suda.edu.cn

通讯地址: 苏州市吴中区干将东路333号

邮政编码: 215002

联系人: 李永舫

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: FS300

所属科研设施:

主要功能: 利用真空蒸发，将有机分子蒸镀到硅片或其他基底上

主要技术指标: 机械泵(DUO)351台，抽速10 L/s。 真空计（PKR251）1套，量程5*10-9mbar~1000mbar。 插板阀(HVA11221-0604R)1套，极限真空1*10-10torr。 可编程直流电源（TDK 8-180）2台，电流精度：0.1A。 样品架1套，容纳1个100mm×100mm样品台，可容纳30个15*15mm基片，挡板2片，遮挡100mm×100mm样品台，掩模板1套，0.3mm厚度

安放地址: 干将东路333号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 无