设备分类编码: 010802

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-68912576

电子邮箱: Zwq669@bit.edu.cn

通讯地址: 北京理工大学

邮政编码: 100081

联系人: 赵维谦

仪器所属类别: 分析仪器>>显微镜及图象分析仪器>>激光共焦显微镜

规格型号: OLS4000

所属科研设施:

主要功能: 具有高分辨率；类似彩色SEM，可测各种样品；可实现粗糙度仪非接触式测量，可用于软质工件测量，光束波长小于表面粗糙度测量直径

主要技术指标: 1） 具有明场、偏光及微分干涉相衬白光观察，2） 双激光共聚焦光路观察、激光微分干涉相衬观察；3） 测量分辨率X/Y平面分辨率不低于0.12um，Z轴的显示分辨率不低于1nm；4） 白光图像采用200万像素、1/1.8英寸彩色CCD采集；5） 激光图像采用光电倍增管采集。

安放地址: 中关村南大街5号

服务内容: 观察及测量分析微观形貌及数据

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 样品要求或共享须知: 样品干燥、清洁

参考收费标准: 校内200元/小时 ，校外500元/小时