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半导体特征分析系统  (收藏)

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设备分类编码: 990000

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [化学, 物理学, 药学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0512-65880955

电子邮箱: xjzhang@suda.edu.cn

通讯地址: 苏州市吴中区干将东路333号

邮政编码: 215002

联系人: 张秀娟

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: 4200-SCS

所属科研设施:

主要功能: 测试氧化层厚度,栅面积,串联电阻,电压,开启电压,体掺杂,徳拜长度,体电势等等。

主要技术指标: 1个最大电压源为210V,电压最小分辨率5Uv; 2.SMU系统4个,分辨率均为0.1fA,最大电流均为100mA,测试精度10fA; 3.C-V系统,频率范围:1KHz-10MHz,偏置电压:±30V(差分模式下为±60V); 4.脉冲发生器频率:50MHz-1Hz,双通道,最小脉冲宽度为10ns@10V,50ns@40V; 5.电流测量精度:0.5%+1nA,I和V的采样率为5ns/点。

安放地址: 干将东路333号

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准:



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