设备分类编码: 990000

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [化学, 物理学, 药学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0512-65880940

电子邮箱: wangsd@suda.edu.cn

通讯地址: 苏州市吴中区干将东路333号

邮政编码: 215002

联系人: 王穗东

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: NANO 36

所属科研设施:

主要功能: 1.制备金属、半导体、绝缘体薄膜 2.制备金属、半导体纳米结构

主要技术指标: 1. 16''*16''腔体 2.极限真空达到5*10E-7 3.1KW直流电源一台，300 W射频电源两台 4.向下溅射结构

安放地址: 干将东路333号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 无