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电子显微镜样品制备装置  (收藏)

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设备分类编码: 010101

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学, 航空、航天科学技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-64524908

电子邮箱: lixu@nim.ac.cn

通讯地址: 北三环东路18号

邮政编码: 100029

联系人: 李旭

仪器所属类别: 分析仪器>>电子光学仪器>>透射电镜

规格型号: EM RES 101

所属科研设施:

主要功能: ·用小角度最小可为0°进行单面或双面减薄,制备TEM试样。 ·制备扫描电镜和光学显微镜样品 ·表面清洗 ·为增强衬度而进行表面减薄 ·可加工样品的最大直径为25mm ·45°~90°倾角的减薄可以研究截面结构 ·用各种靶材对SEM或TEM样品进行原位喷镀 ·为扫描电镜、光学显微镜,透射电镜提供各种样品台。

主要技术指标: ·完全由计算机控制的系统 ·减薄角度可在0°~90°之间任意变化; ·为使用者提供最高灵活性的“一体化系统” ·加载——锁定系统可以保证永久的高真空 ·离子能量可变,以适应不同能量的样品减薄 ·通过LAN可对减薄过程进行外部控制

安放地址: 十三陵镇石牌坊村北路18号

服务内容: 为透射电镜和扫描电镜制备样品

服务的典型成果: 制备了氧化铪薄膜横截面样品,单晶硅的EBSD样品

对外开放共享规定: 参照《中国计量科学研究院大型仪器设备共享管理实施细则》

参考收费标准: 参照《中国计量科学研究院大型仪器设备共享管理实施细则》



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