设备分类编码: 010102

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-38839800

电子邮箱: defu_xin@simt.com.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 盛克平

仪器所属类别: 分析仪器>>电子光学仪器>>扫描电镜

规格型号: XL30/EDX-GENESIS

所属科研设施:

主要功能: 国际先进

主要技术指标: 二次电子分辨率3.5nm，背散射电子分辨率5.0nm，GSE分辨率3.5nm（<20Torr），真空度<6×10-6mBar，分析元素范围4Be`92U，能量分辨率130ev。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: