设备分类编码: 010802

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [能源科学技术, 环境科学技术及资源科学技术]

仪器设备来源: 购置

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联系人: 孟新静

仪器所属类别: 分析仪器>>显微镜及图象分析仪器>>激光共焦显微镜

规格型号: Axio Csm700

所属科研设施:

主要功能: Axio CSM 700的应用领域包括微电子（微纳米）器件、半导体、印刷、造纸、纺织、刑侦、光学器件、机械制造、金属材料研究、复合材料研究、高分子材料研究等，可测试的项目包括三维形貌、面（线）粗糙度、三维粗糙度、膜厚、颗粒分析（颗粒直径、颗粒圆度、颗粒面积、颗粒数目等）、槽深、高度差、宽度、倾斜度、曲率半径、体积、表面积等，并可对图像进行去噪、？校正、LUT校正、锐化、对比度调整、自动校平、布尔运算等处理。

主要技术指标: 1.采用了共聚焦成像原理，Axio CSM 700将传统光学分辨率提高了1.4倍，线分辨率达到160 nm；同时，在充分利用共聚焦能提供高度信息的基础上，Axio CSM 700配备了精度高、重复性好的Z轴自动步进装置，仪器的高度方向扫描最小解析度为10 nm，最小可测高度20 nm，最大可测高度15mm，这使得高度上亚微米，甚至纳米尺度的非接触式高精度测量成为可能。 2.Axio CSM 700共聚焦显微镜适合于要求高精度的学术研究机构，高效率来自蔡司创新的线帧扫描模式（Wire-frame mode，扫描速度超过117 frames/sec）, 5秒钟即可以0.1？m的扫描解析度完成对50？m高度试样的扫描，可大大提高工作效率. 3.由于使用氙灯作为光源，Axio CSM 700能够展现被检测试样表面真实色彩，将传统共聚焦扫描显微镜拓展到了更广的应用领域。

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服务内容:

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