设备分类编码: 040599

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 025-52091653-403

电子邮箱:

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 陈继新

仪器所属类别: 电子测量仪器>>大规模集成电路测试仪器>>其他

规格型号: SUSSPM5

所属科研设施:

主要功能: 微波、毫米波集成电路芯片测试

主要技术指标: 6"测试平台，平面度〈10μm，5μm精度，重复性1μm，探针频率范围DC～50GHz

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: