设备分类编码: 010499

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-64524974

电子邮箱: gaohf@nim.ac.cn

通讯地址: 北京市北三环东路18号中国计量科学研究院

邮政编码: 100029

联系人: 高慧芳

仪器所属类别: 分析仪器>>光谱仪器>>其他

规格型号: Uvisel2

所属科研设施:

主要功能: 测量纳米薄膜厚度及光学常数。

主要技术指标: 光谱范围：（190 - 2100）nm 测量范围：2 nm - 30 mm 分辨力：优于2nm 测量精确度：d=D+/-5 ？。样品为(800-1000) ？ SiO2/Si，D为参考标准值。 测量重复性：薄膜厚度d标准偏差 优于0.2，薄膜折射率n标准偏差 优于0.0003。样品为800-1000 ？ SiO2/Si。 测量稳定性：SiO2薄膜厚度测量的标准偏差1δ优于0.1 ？（样品为10-100 ？ SiO2/Si）。

安放地址: 十三陵镇石牌坊北路18号

服务内容: 测量纳米薄膜厚度及光学常数

服务的典型成果: 根据半导体、光学、太阳能电池、科研等领域对膜厚准确测量的需求，开展纳米薄膜镀层如SiO2/Si、Si3N4/Si、HfO2/Si等薄膜厚度及光学常数等测量，为相关科研院所等开展薄膜厚度及光学常数检测服务，支持国家重大科研项目的进展。

对外开放共享规定: 参照《中国计量科学研究院大型仪器设备共享管理实施细则》

参考收费标准: 参照《中国计量科学研究院大型仪器设备共享管理实施细则》