设备分类编码: 030118

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [生物学, 材料科学, 机械工程]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 025-83792432

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通讯地址:

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联系人: 王玉娟

仪器所属类别: 计量仪器>>长度计量仪器>>原子力显微镜

规格型号: MFP-3D-SA

所属科研设施:

主要功能: 应用于材料的形貌观测、力测试，以及实现纳米刻蚀和操纵

主要技术指标: 1、扫描类型：三轴分离全程闭环平板式扫描器；2、扫描范围：XY轴90um，Z轴大于15um；3、扫描噪声：XY轴开环精度0.06nm，闭环精度0.6nm，非线性度小于0.5%，Z轴闭环高度精度小于0.03nm，非线性度小于0.2%；4、样品台：直径<100nm，厚度<20nm；

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: