设备分类编码: 011299

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-89733159

电子邮箱: maorong@cup.edu.cn

通讯地址: 北京市昌平区府学路18号

邮政编码: 102249

联系人: 相文峰

仪器所属类别: 分析仪器>>样品前处理及制备仪器>>其他

规格型号: ICP-98C

所属科研设施:

主要功能: 薄膜材料刻蚀与加工

主要技术指标: 1、可加工片子尺寸：Ф150mm以内。 2、均匀性：±5%(4英寸硅片内)

安放地址: 府学路18号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 每周对外开放三天

参考收费标准: 根据实验