设备分类编码: 030125

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学, 材料科学]

仪器设备来源: 购置

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联系人: 姚兴亮

仪器所属类别: 计量仪器>>长度计量仪器>>台阶高度测量仪

规格型号: Prismo sacc9127

所属科研设施:

主要功能: 光学测量三坐标PRISMO机床测量精度高，对机械结构零部件各项几何、位置精度的精密检测等的精密测量等方面拥有极为明显的优势。我们研发的光栅刻划机的目标精度设定为：刻划步进精度优于5nm；刻划直线精度优于20nm；研制的高精度光学镜头、主轴、主轴承套、高精度传动系统、微位移驱动机构等关键零部件的设计精度、行为公差都必须达到很高的精度要求，只有现在先进的光学测量三坐标设备才能满足高精密的测量水平，而光学测量三坐标PRISMO机床高精密测量能力可以满足我们的设计要求。国外客户，世界500强企业 70%以上用户使

主要技术指标: 测量范围(mm) X=900,Y=1200,Z=650 20？时的精度(ISO10360-2) E=0.9+L/350(？m) P=1.0(？m) 光栅尺分辨率 0.04？m 扫描精度（ISO） 10360-4） THP=1.9(？m)

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