设备分类编码: 030122

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [工程与技术科学基础学科, 机械工程]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0512-69588145

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联系人: 孔晨晖

仪器所属类别: 计量仪器>>长度计量仪器>>双频激光干涉仪

规格型号: 5517D

所属科研设施:

主要功能: 用于光栅刻划机的多光路、高精度、高可靠性的测量系统，可实现二维位移和转角测量。

主要技术指标: 波长 633nm 真空波长精度 ±0.1ppm 真空波长稳定性±0.02ppm

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: